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TEL重磅參展SEMICON Taiwan 2026 秀面板級封裝技術實力、新產品
東京威力科創(TEL)將參展SEMICON Taiwan 2026。攝影謝承學

TEL重磅參展SEMICON Taiwan 2026 秀面板級封裝技術實力、新產品

日本半導體設備大廠東京威力科創(TEL)今天表示,將參與SEMICON Taiwan 2026國際半導體展領銜發表最新技術及產業趨勢,重點涵蓋面板級封裝領域,以及全方位的Epsira數位轉型解決方案概念。
隨著生成式AI與高效能運算(HPC)浪潮席捲全球,帶動半導體先進製程與先進封裝需求爆發式成長,世界半導體貿易統計組織(WSTS)多次上修半導體市場預測,今年六月甚至突破了1.5兆美元,市場規模大幅看漲。
日本半導體設備大廠Tokyo Electron (TEL)最新財報同步上修財務預測,2026年上半年營業利潤4,580億日圓,預計年增51.1%,創下半年度歷史新高,此皆有賴於聚焦市場成長、客戶需求的積極策略,持續深化科技力,Tokyo Electron Taiwan (TEL台灣)也將於SEMICON Taiwan 2026國際半導體展領銜發表最新技術及產業趨勢,邀請各界專業人士前往交流。
TEL積極承諾,持續推動半導體製程與先進封裝技術發展,相關資訊於展期論壇多有曝光。首先在Device Scaling面向,著重於探討透過先進技術防止圖形塌陷(Pattern Collapse),以及位置特定製程(Location Specific Processing)來降低疊位誤差,促進更細微線寬的良率穩定。為了滿足3D結構化需求,強調以狹窄間隙中無縫隙填充、電漿切割(Plasma Dicing)以及面板級封裝(Panel Level Packaging)等技術,提升3D封裝的可靠性與產能。為了迎接高速運算世代,導入Ru/AG (Ru Interconnect with Air Gap)技術及先進鍵合(Advanced Bonding)方式,降低延遲並提升傳輸效率。
其中,TEL首次於SEMICON Taiwan進行面板級封裝相關議題展示,同時提及兩大挑戰。一是尚無標準化之大尺寸面板設備,二是微縮重佈線層(Redistribution Layer)的間距要求愈趨嚴苛,基於上述挑戰,導入與開發仍具備高難度。TEL亦規劃推出新產品,相關技術內容將於半導體先進製程科技論壇(IC Forum)首度曝光。
另一方面,順應世界的發展趨勢,各地正在興建許多新的晶圓廠,傳統的排程、人力配置恐難滿足持續攀升的產能需求。為此,TEL將開發全方位的 ”Epsira™*” 數位轉型解決方案概念,結合 AI 與機器人技術,高效地進行開發、生產、維護及營運。結合TEL在半導體製造設備的深厚專業知識及數位技術,協助客戶提升生產力。

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