先進封裝「圓轉方」時代來臨 天虹首台CoPoS設備正式交機、本土自製率近9成
由左至右為執行副總羅偉瑞、董事長黃見駱、執行長易錦良、副總經理張富華。

先進封裝「圓轉方」時代來臨 天虹首台CoPoS設備正式交機、本土自製率近9成

在先進封裝朝向大尺寸 Panel 化發展之際,台灣半導體設備廠天虹科技(6937)率先完成 310×310 mm 面板級封裝物理氣相沉積(PLP PVD)設備交機,對應 CoPoS 關鍵製程需求。更引人關注的是,該設備系統本土自製率逼近 90%,成為台灣高階半導體設備自主化的重要里程碑。
天虹指出,設備於出廠前已完成超過 1,000 片翹曲 panel 傳送測試與 300 片以上製程穩定性驗證,確保於量產環境下具備高度可靠度。製程鎖定 310×310mm Panel 正面 Ti/Cu RDL 與背面 Al/Ti/NiV/Au 背金製程,直接對應新一代面板級封裝的大尺寸與高精度需求。
除 PVD 外,天虹亦同步推出 310×310 mm PLP Descum 設備並進入客戶驗證階段,逐步建立完整的 Panel Level Packaging 製程設備能力。
在設備自主化推進下,天虹本次 PLP 系列設備高度採用在地供應鏈,帶動台灣半導體設備生態系發展,並有效降低對海外高階設備的依賴。除 PLP 領域外,天虹科技子公司輝虹科技亦積極布局高階光學量測設備,預計於 2026 年第一季達成 EUV Pellicle(極紫外光光罩護膜)穿透率與反射率全自動設備的之國產化目標,進一步補足國內在先進光學量產設備領域的關鍵缺口。
值得注意的是,天虹已於 2025 年底成立日本子公司「哲虹」,作為深耕日本半導體市場的重要據點,強化在地技術服務與市場拓展能力,國際布局同步加速。天虹科技執行長表示:「2026 年是天虹技術收獲與國際布局推進的關鍵年。從PLP PVD 的成功交機到日本哲虹的成立,我們證明了台灣設備商不僅具備高比例本土自製能力,亦能逐步與與全球頂尖技術接軌。」

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