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台積電2030年導入High-NA！攜手ASML攻12吋光罩　2033年拚量產

2026/09/08 14:20:00

台積電2030年導入High-NA！攜手ASML攻12吋光罩　2033年拚量產

半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）與台積電宣布發起合作，共同引領半導體產業轉移升級至更大尺寸的極紫外光（EUV）微影光罩。

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